真空脱气机的工作原理是将水循环系统中的一部分液体置于真空的环境下，此时液体中的游离态气体及溶解态气体就会释出。之后，这部分已经过脱气处理的、具有吸收性的液体将被注回水循环系统中参加循环。它们会重新吸收系统中的游离态气体和溶解态气体，以再次达到平衡。经过多次这样的过程之后，水循环系统中的游离态气体及溶解态气体就都被去除了。
真空脱气机的脱气原理是基于亨利定律的工作原理，利用气体在水中溶解度与水温和压力相关，在一定温度下，气体在水中的溶解度成压力正比。在一定的压力下，水温降低，气体溶解度增加，水温升高，气体溶解度降低。真空脱气机是通过产生真空，将水中的游离气体和溶解气体释放出来，再通过自动排气阀排出系统，脱气后的水再注入系统。这些低含气量的水是不饱和水，对气体具有高度的吸收性，它将吸收系统中的气体从而达到气水平衡。真空脱气机每20~30秒重复一次这样的循环。如此循环往复，将系统中的所有气体脱除
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